一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台

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所属单位:化学工程学院

专利范围:国内

学校署名:第一单位

专利类型:实用新型

专利状态:专利授权

申请号:201420581808.9

授权号:201420581808.9

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2014-09-26

授权日期:2015-02-18