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一种柱状结构的微纳精密压电螺纹驱动机构

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所属单位：机电工程学院

专利范围：国内

学校署名：第一单位

专利类型：实用新型

专利状态：专利授权

申请号：201621231371.1

授权号：CN 206164396 U

发明人数：1

是否职务专利：否

申请日期：2016-11-17

授权日期：2017-05-10

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一种微小型精密压电超声驱动装置
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