所属单位：机电工程学院
发表刊物：压电与声光
项目来源：省、市、自治区科技项目
关键字：微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字PID控制
摘要：研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构，给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统，设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明，微定位系统定位行程可达100μm，定位分辨力0．01μm。
第一作者：孙宝玉
论文类型：期刊论文
卷号：27
期号：2
页面范围：3
字数：1
ISSN号：1004-2474
是否译文：否
CN号：51-1285
发表时间：2005-04-01