一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台
发布时间:2021-09-03 点击次数:
所属单位:机电工程学院
专利范围:国内
学校署名:第一单位
专利类型:发明专利
专利状态:专利授权
申请号:201510793778.7
授权号:ZL201510793778.7
发明人数:6
是否职务专利:否
申请日期:2015-11-17
授权日期:2018-02-27
所属单位:机电工程学院
专利范围:国内
学校署名:第一单位
专利类型:发明专利
专利状态:专利授权
申请号:201510793778.7
授权号:ZL201510793778.7
发明人数:6
是否职务专利:否
申请日期:2015-11-17
授权日期:2018-02-27
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