专利

一种压电驱动三维椭圆微进给运动平台

发布时间:2021-09-03  点击次数:

所属单位:机电工程学院

专利范围:国内

学校署名:第一单位

专利类型:实用新型

专利状态:专利授权

申请号:CN201520919504.3

授权号:ZL201520919504.3

发明人数:3

是否职务专利:

申请日期:2015-11-17

授权日期:2016-04-20

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