一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台
发布时间：2021-09-03 点击次数：
所属单位：机电工程学院
专利范围：国内
学校署名：第一单位
专利类型：实用新型
专利状态：专利授权
申请号：201621210357.3
授权号：ZL201621210357.3
发明人数：6
是否职务专利：否
申请日期：2016-11-09
授权日期：2017-05-31
所属单位：机电工程学院
专利范围：国内
学校署名：第一单位
专利类型：实用新型
专利状态：专利授权
申请号：201621210357.3
授权号：ZL201621210357.3
发明人数：6
是否职务专利：否
申请日期：2016-11-09
授权日期：2017-05-31
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